由于摆阀门的腐蚀环境中出色的可靠性，正常运行的过程可以显着增加，达到更高的产量。半导体制造商正在积极努力降低成本，提高系统运行时间，延长服务时间，并减少日常服务操作所需的时间。首先，他们要求能适应过程。重点是快速吞吐量和高度不同类型的小批量生产。许多控制阀不能满足所有这些要求。维持一个稳定的过程压力是另一个血浆中的重要性日益增强的要求，蚀刻和沉积过程。压力稳定，导致吞吐量的增加，改善微观结构，并在缺陷数量的减少对加工的圆片。

第二，如果是泥浆这样的介质，电动蝶阀也可进行运送，且在管道口寄存液体最少，即便在低压条件下，也能实现密封效果，调节性能也不错。